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华清静电吸盘用氮化铝陶瓷

产品参数加工定制：是特性：高频绝缘陶瓷功能：绝缘装置陶瓷微观结构：多晶规格尺寸：φ170mm等，其他尺寸提供图纸可定制品牌：福建华清厚度：10 毫米等，其他厚度提供图纸可定制表面粗糙度：双面 Ra < 0.6 μm 导热系数：170W/米·K 产品特点氮化铝优良绝缘，高频损耗小，耐热，热膨胀系数小，机械强度大，热传导好，耐化学腐蚀，稳定，热导率高，光传输特性好，电性能优良，机械性能好，尺寸大小及厚度可根据顾客要求定制。

公司已经拥有一整套从日本、美国等国进口的、配备完善的电子陶瓷生产设备和检测仪器，是一家规模化、采用流延法生产氮化铝陶瓷基板的企业，主导产品是氮化铝陶瓷基板及其相关电子元器件。

与国外同行企业相比较，在氮化铝陶瓷基板流延浆料配制、低温烧结等方面，公司自有的氮化铝陶瓷流延法生产技术与工艺，所生产的氮化铝陶瓷基板具有高的热导率、较低的介电常数和介质损耗、优良的力学性能，可广泛应用于电子信息、电力电子等高技术领域。

开发了一种将氮化铝 (AlN) 直接晶圆键合到镀有 AlN 的晶圆的方法。

晶圆直接键合需要光滑、平坦、亲水的表面，这些表面能够被适当带电的氢分子表面处理。

华清可以提供非常光滑（Ra≤0.03um）和平坦表面的AlN衬底。

我们的氮化铝基板 (AlN) 有各种尺寸和厚度可供选择。

静电吸盘 (ESC) 用于各种半导体工艺，以在加工过程中固定晶圆。

ESCs采用带有集成电的压板，用高压偏置在压板和晶圆之间建立静电保持力，从而“夹住”晶圆。

氮化铝陶瓷具有高导热性和绝缘性能，可以作为ESC材料。

得益于大量的实时库存，我们可以快速运送您的零件，以便您开始您的项目。

请联系我们定制。

我们还可以提供导热系数高达 230W/mK 的氮化铝 (AlN) 陶瓷。

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